3 oxlu əyilmə qurğuları
dəstək dalğa uzunluğu: 10640nm, 10200nm, 9400nm
XY2-100 protokolu
iş sahəsi: 300*300mm-dən 1600*1600mm-ə qədər
kiçik ləkə ilə böyük iş sahələrinin emalı
dəstək dalğa uzunluğu: 1064nm
opsiyalar üçün əyri səth işarələmə versiyası və geniş sahə işarələmə versiyası