3osé vychylovací jednotky
podpora vlnová délka: 10640nm, 10200nm, 9400nm
protokol XY2-100
pracovní pole: 300*300mm až 1600*1600mm
zpracování velkých pracovních polí s malým bodem
Vlnová délka podpory: 1064nm
verze se zakřiveným povrchem a verze pro velké pole pro volitelné doplňky