3-अक्ष विक्षेपण एकके
समर्थन तरंगलांबी: 10640nm, 10200nm, 9400nm
XY2-100 प्रोटोकॉल
कार्यक्षेत्र: 300*300mm ते 1600*1600mm
लहान जागेसह मोठ्या कार्यक्षेत्रावर प्रक्रिया करणे
समर्थन तरंगलांबी: 1064nm
वक्र पृष्ठभाग चिन्हांकित आवृत्ती आणि पर्यायांसाठी मोठ्या फील्ड चिन्हांकित आवृत्ती