Unit pesongan 3 paksi
panjang gelombang sokongan: 10640nm, 10200nm, 9400nm
Protokol XY2-100
bidang kerja: 300 * 300mm hingga 1600 * 1600mm
pemprosesan bidang kerja yang besar dengan bintik kecil
panjang gelombang sokongan: 1064nm
versi penanda permukaan melengkung dan versi penanda medan besar untuk pilihan