Unidades de deflexão de 3 eixos
comprimento de onda de suporte: 10640nm, 10200nm, 9400nm
Protocolo XY2-100
campo de trabalho: 300*300mm a 1600*1600mm
processamento de grandes campos de trabalho com pequenas manchas
comprimento de onda de suporte: 1064nm
versão de marcação de superfície curva e versão de marcação de campo grande para opções