ФР30 Сериал
-
3Д динамички систем фокуса – ФР30-Ц
3-осне јединице за отклон
подршка таласна дужина: 10640нм, 10200нм, 9400нм
КСИ2-100 протокол
радно поље: 300*300мм до 1600*1600мм
обрада великих радних поља са малом тачком
-
3Д динамички систем фокуса – ФР30-Ф
3-осне јединице за отклон
подршка таласна дужина: 1064нм
КСИ2-100 протокол
верзија са закривљеном површином за обележавање и верзија са великим ознакама поља за опције
обрада великих радних поља са малом тачком